LUPHOScan 850 HD 是泰勒霍普森推出的一款大型光学工件精密检测仪，基于多波长干涉技术（MWLI®），专为大型复杂光学应用工件的精密检测而设计。以下是其相关介绍：

测量原理：基于多波长干涉技术（MWLI®），通过测量传感器在被测工件表面按预设路径扫描，同时工件自身旋转，利用多波长干涉传感技术测量绝对距离，实现对工件表面三维面形的测量。

测量范围：测量口径范围可从 5mm 到 850mm，测量高度可达 210mm，大工件负载可达 350kg，可满足多种尺寸大型光学工件的检测需求。

测量精度：具有高精度和高重复性的面形误差测量能力，精度可达 <λ/20 (PV99i)，RMS 最小可达 5nm*，能为大型光学工件提供高精度的测量数据。

可测工件类型：主要用于对非球面透镜、球面、平面和轻微自由曲面等旋转对称表面的超高精密非接触式三维表面形状测量。

可测材料：几乎能测量所有的材料，包括透明、镜面、不透明、抛光或磨光面等，适用范围广泛。

功能特性：具备全新设计的 Flying spot 环纹抑制模式、基于相位的自动对焦、像素稳定光学缩放及全新的变倍模式等。其智能设置功能可根据安装的不同附件自动配置，还拥有 ZYGO 有氦氖稳频激光以及模块化、密闭光学系统。

性能优势：测量速度快，对不常见的表面形状，如平顶或有拐点的轮廓，具有高度灵活性，并且具有优异的重复性。