日本三丰测高仪518-236,QM-Height 精度高达(1.1+0.6L/600)um分辨率为0.1un/重复精度0.4um 确保5um的垂直度G正E面)和4um的直线度 配置全/半气浮系统,可根据操作情况(移动/测量)调节气垫高度,在保持精度不变的同时完成快速检验
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