泰勒霍普森白光干涉仪CCI信息

更新时间：2026-01-13

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CCI HD：适配制造与研究领域的高精度膜厚测量方案

CCI HD 是非接触式光学 3D 轮廓仪，具备精准测量薄膜与厚膜的核心能力。其采用关联算法，可精准定位由精密光学扫描装置生成的干涉图相干峰与相位；整合非接触式尺寸测量技术与优异的厚薄膜测量方案，除提供尺寸、粗糙度测量功能外，还可实现两种类型的膜厚测量。

近年来，厚膜分析已广泛应用于厚度约 1.5 微米的半透明涂料研究，实际测量厚度上限取决于材料折射率与标的物数值孔径（NA）。相对而言，薄涂层测量难度更高，而通过干涉测量法，现已可实现厚度低至 50 纳米的薄涂层研究（测量上限同样取决于材料折射率）。借助该新型测量方法，可在单次测量中同步获取膜厚、界面粗糙度、针孔缺陷及薄涂层表面剥离等关键特性参数。

泰勒·霍普森 CCI HD 非接触式白光干涉轮廓仪核心优势参数：

2048×2048 像素阵列，兼具宽广视场与高分辨率
全量程 0.1 埃超高分辨率
适配 0.3% - 100% 全范围表面反射率测量
重复性优异：<0.2 埃 RMS 重复性，<0.1％台阶高度重复性
搭载多语言版本 64 位控制与分析软件，操作便捷
2.2 mm 垂直测量范围，配备闭环无压电 Z 轴扫描仪
标准配置 AutoStitch 功能，可实现大型零件的高分辨率测量

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