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美国API激光干涉仪XD Laser 6D基本信息

点击次数：118 更新时间：2025-05-16

其突出特点是体积小巧、重量轻便，可直接安装在机床导轨上，便于生产现场快速部署与调试，显著提升操作便利性。

该仪器主要由稳频激光器、干涉镜和 6D 传感器组成。稳频激光器提供稳定激光光源，为测量精度奠定基础；干涉镜对激光光束进行干涉处理，形成可用于测量的干涉信号；6D 传感器则是核心部件，集成分光、测长、测直线度、测角度等多重功能，实现多维测量。

稳频激光器发出的激光光束经干涉镜干涉后，进入 6D 传感器内的分光镜，被分为三束功能不同的光束：

第一束光（长度测量）：光束经锥角反射棱镜反射后，返回干涉仪与参考光束产生干涉并形成条纹。光学相位探测器识别条纹后，通过电子计数记录精确长度位置，可实现微米级甚至纳米级位移测量。
第二束光（直线度测量）：作为直线度测量的参考光束，构建测量基准。传感器与参考光束的相对位移由传感器内的横向光电二极管监测，通过分析位移数据计算机床导轨的直线度误差。
第三束光（角度测量）：为传感器内小型光电测角仪提供参考光源。测角仪通过检测光束角度变化，实现对俯仰角和偏摆角的精确测量，捕捉机床运动中的角度偏差。

在机床精度校准中，可全面测量导轨的直线度、垂直度、俯仰角、偏摆角等参数，为精度调整提供数据支撑；适用于航空航天、精密模具、光学元件等高精度制造领域，确保零部件加工精度；还可通过定期测量，实时监测机床等设备的精度变化趋势，提前发现潜在故障，实现预防性维护。

具备多维同步测量能力，可同时完成长度、直线度、角度（俯仰角、偏摆角）等 6 个维度的测量，大幅提高效率；基于激光干涉原理与先进光电检测技术，保障高精度与稳定性；6D 传感器集成多种测量功能，简化系统结构，降低安装调试难度，提升数据关联性与一致性。