API XD Laser激光干涉仪的核心技术特点

API（Automated Precision Inc.）公司推出的XD Laser系列激光干涉仪，是高精度多自由度测量领域的代表性产品。该系统突破了传统激光干涉仪仅能测量单一维度的局限，具备同时测量多达六个自由度（6DoF）的能力，显著提升了测量效率与精度。

1. 六自由度同步测量

XD Laser采用的多光束干涉技术，可在一次测量中同步获取线性位移（X）、水平直线度（Y）、垂直直线度（Z）、俯仰角、偏摆角和滚转角六个参数，避免了传统方法需多次装调带来的累积误差。

2. 高精度与高稳定性

系统基于稳频氦氖激光源，波长稳定性优于±0.05 ppm，线性测量精度可达±0.5 ppm，角度测量分辨率高达0.01角秒，适用于纳米级精密检测需求。

3. 紧凑一体化设计

XD Laser将所有光学元件集成于一个轻巧探头中（重量通常小于5 kg），无需外部反射镜或复杂光路调整，便于在狭小空间或现场环境中快速部署。

4. 实时动态测量能力

支持高达50 kHz的数据采集频率，可对高速运动的机床、机器人或导轨进行动态性能评估，如振动分析、伺服响应测试等。

5. 软件兼容性强

配套的SpatialAnalyzer®软件支持与主流CAD系统集成，并提供API有的误差分离与补偿算法，便于用户进行设备校准与性能优化。