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Cassification
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更新时间:2026-07-15
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菲希尔 X射线测厚仪 FISCHER XULM240
菲希尔X射线测厚仪XULM240核心硬件配置
1. X 射线发射系统
光源:微聚焦钨靶铍窗口 X 射线管,50kV/50W,焦点≤50μm
高压三档自动切换:30kV / 40kV / 50kV,适配薄金、厚锡、多层镍铬等不同镀层
滤片:3 组电动自动切换(标配 Ni/Al/ 无滤片,可选 Co 滤片),优化不同元素激发效率
2. 准直器(测点核心优势)
4 组电动切换准直器,业内同级最小测点:
方形最小:0.05×0.05 mm
圆形最小:Ø0.1 mm(0.09×0.09mm²)
可选长条型:0.2×0.03 / 0.3×0.05 mm,适配窄焊盘、细导线
对比 XUL210/220 最小测点仅 0.51mm,XULM240 微区测量能力大幅
3. 探测器与测量效率
探测器:比例计数管,高计数率,微小测点下测量速度更快
重复精度:80nm 超薄金层,20s 测量重复性误差仅 ±2.5nm,变异系数 COV<5%
4. 样品定位与观测
500 万像素彩色同轴 CCD 显微镜,38~184 倍数字变焦,十字标定标尺实时看测量光斑
手动 XY 精密工作台,行程 30×40mm,定位精度 ±0.005mm
测量方向自下而上打光,C 型开槽大舱体,样品最大高度 174mm,兼容大板 PCB、异形冲压件
DCM 距离补偿:0~25mm 样品高度无需反复校准,高低落差工件测量稳定
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