API XD6LS精密激光干涉仪

机床主要误差：

图为：使用XD Laser激光干涉仪实现多种检测需求

API公司XD系列激光干涉仪型号：

        一维测量系统XD –1D标准型&精密型
        三维测量系统XD –3D
        五维测量系统XD –5D标准型&精密型
        六维测量系统XD –6D 标准型&精密型

良好的结构设计

API公司采用了稳定钢球与绝热层的双重定位设计，将干涉镜用高绝热层与激光器主机隔开，从而避免了干涉镜受热变形，用稳定钢珠将干涉镜前端的干涉区与下端底盘定位相连，从而使激光管及电路板发热而引起的热膨胀方向沿稳定钢珠中线向后，使得干涉镜不受影响，保证了测量准确性。

主要特性：

􀂾一次安装能测量6项精度指标包括线性定位误差、XX及YY两个方向直线度、偏摆角、俯仰角、滚动角
􀂾把反射镜换成五棱镜既可测量两轴间垂直度
􀂾两点调光线.无需三脚架. 测量调整简单快速
􀂾传统激光干涉仪测量20项精度指标(三轴)，约需3天的时间；API干涉仪只约需半天!
􀂾测量直线度/小角度/垂直度/转台时, 不怕断光, 可当自准直仪用, 用于机床装配调试

美国API软件功能：

从初的系统校准到测量结果的审查.再到机床的空间精度补偿，API软件 都会无微不至地协助您完成测量工作:易于使用一- 界面设计明朗，让操作者一目了然。高效多功能一无论您测量位置度.直线度.角度、平面度甚至是空间误差补偿以及数控程序，XD Laser和API软件都将伴您左右，帮助提高您的生产效率。

技术参数：
  5D/6D标准型：
  1. 线性：0.5ppm .
  2. 测量范围：40米(1D可选80米)
  3. 线性分辨力：0.001um.
  4. 偏摆角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值
  5. *大范围：800角秒
  6. 滚动角精度：1.0角秒
  7. 直线度精度：(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值
  8. 直线度*大范围：500um
  9. 垂直度精度：1角秒
  10. 温度精度：0.2摄氏度
  11.湿度精度：5%
  12.压力精度：1mmHg