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产品名称:
美国api激光干涉仪操作步骤
发布时间:
2020-03-17
产品品牌:
产品特点:
美国api激光干涉仪操作步骤、首先将激光干涉仪放置于所需测量机器的工作平台,让激光照射的方向大致与所测轴运动方向平行。打开激光干涉仪下面的磁力座开关(如平台非铁件,需安装- ~铁板以便磁力座更好的吸附)。
  美国api激光干涉仪操作步骤的详细资料:

美国api激光干涉仪操作步骤

➢首先将激光干涉仪放置于所需测量机器的工作平台,让激光照射的方向大致与所测轴运动方向平行。
➢打开激光干涉仪下面的磁力座开关(如平台非铁件,需安装- ~铁板以便磁力座更好的吸附)。
➢将机器所测量轴移动至近处软限位位置。
➢将1D/3D 反射镜镜面朝向干涉仪方向并安装在机器运动状态下稳定不会晃动的零部件上。(反射镜与干涉仪均可作为运动测量t )
➢激光干涉仪与反射镜安装完毕后,检测测量轴在做全程运动时能有效的接收激光照射且不会碰到反射镜及机器的任意部件。

➢气象站材料温度传感器和空A气温度传感器以及大气压力传感器请放置于机器的工作台面上。

XD Laser激光干涉仪的测试方法:

直线度测量

 — 应用先进的PSD技术:光电位置敏感检测器。它可将光敏面上的光点位置转化为电信号)
 — 不怕断光,可用于导轨的安装调试(类似于自准直仪)
 — 对直线度进行1:1的测量
 — 可一次性安装, 与线性误差一起测量, 方便, 快速

垂直度测量

—  API XD激光干涉仪是通过PSD技术1:1进行直线度测量的,所以API干涉仪测两轴垂直度时只需一个五角棱镜既可,
— 无需其他镜组装/调非常方便快速
— 在测两轴的垂直度的同时,两轴各自的线性定位误差、直线度,偏摆角、俯仰角都可一次测出,
— 大大节省了测量所占用机床的时间,也可避免人为差错。

偏摆角/

俯仰角测量

— 先进的PSD技术来测量小角度: 当入射光经分光镜射到凸透镜上后,如果轴无角度变化,则光线经透镜聚在焦点上;
— 如果轴有角度变化,则光线会在焦平面上的PSD光靶上得到两个方向的坐标值,从而与焦距比较得出角度值。
— 测量角度过程中不怕断光, 可用于导轨的安装调试。不受滚动角的影响,调整光路容易 。

美国API激光干涉仪 XD-1D/ XD-3D/ XD-5D/ XD-6D主要技术参数:

功能型号单位XD-1D一维型xd-3d三维型xd-5d三维型xd-6d三维型
标准型精密型标准型精密型标准型精密型
线性测量范围m45 4545404545
线性精度ppm0.5 0.50.50.20.50.2
直线度测量精度unN/AN/A

(2.0+0.4/m)

或2%

(1.0+0.2/m)

或1%

(0.5+0.1/m)

或1%

(1.0+0.2/m)

或1%

(0.5+0.1/m)

或1%

偏摆角及俯仰角精度

 

角秒N/AN/AN/A

(1.0+0.1/m)

或1%

(0.5+0.05/m)

或1%

(1.0+0.1/m)

或1%

(0.5+0.05/m)

或1%

滚动角精度角秒N/AN/AN/AN/AN/A1.0或1%0.5或1%
垂直度测量精角秒N/AN/A(1.0+0.4/m)(1.0+0.2/m)(1.0+0.2/m)(1.0+0.2/m)(1.0+0.2/m)
材料温度传感器精度0.10.10.10.10.10.10.1
空气温度传感器精度0.20.10.20.2

0.1

0.20.1
大气压力传感器精度mm Hg1.00.30.31.00.31.00.3

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