API Xd激光干涉仪（测量六项误差参数）

Xd激光干涉仪是wei一一个可以在一次设置中同时测量所有6个误差参数的评估系统。一次安装能够同时测量线性轴的六个误差，包括1个位置度误差、2个直线度误差、3个角度误差。在通常情况下需要数天时间进行的测试，使用API激光干涉仪只需几个小时即可完成，实际应用结果表明，节省时间可达80%。该仪器体积小，重量轻，可以直接安装到机床导轨上。

主要特点：

1. 同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角 
2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器 
3. 可选的无线遥控传感器长的控制距离可到25米 
4. 可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性。 
5. 全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架 
6. 集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间

准确的数据采集：
      实时的误差测量确保了数据采集的正正确性以及高精度的误差分析自动的数据采集技术，简化了数据采集的过程。

激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。 
    若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

应用：

XD Laser被来自世界名地的API用户用于：
、CMMICNC的校准、补偿
、机床导轨平行度的测量
、旋转额的测量
、垂直度的测量
、对角线的测量
、CNC反馈
、机器人位置反馈

API XD干涉仪线性定位误差的测量方法:
¾ 一次安装也可同时测量其它五个参数;
¾ 可利用电脑中的直线度实时显示,
数字化去除余弦差，测量准确;
¾ 两点调光，对光迅速

直线度测量— API XD的方法

应用先进的PSD技术：光电位置敏感检测器。它可将光敏面上的光点位置转化为电信号)

¾ 不怕断光，可用于导轨的安装调试(类似于自准直仪)
¾ 对直线度进行1:1的测量
¾ 可一次性安装, 与线性误差一起测量, 方便, 快速

垂直度测量— API XD的方法

¾ API XD激光干涉仪是通过PSD技术1:1进行直线度测量的，所以API干涉仪测两轴垂直度时只需一个五角棱镜既可，无需其他镜组. 装/调非常方便快速
¾ 在测两轴的垂直度的同时，两轴各自的线性定位误差、直线度，偏摆角、俯仰角都可一次测出，大大节省了测量所占用机床的时间，也可避免人为差错。

偏摆角/俯仰角测量 — API XD的方法

¾ 先进的PSD技术来测量小角度: 当入射光经分光镜射到凸透镜上后，如果轴无角度变化，则光线经透镜聚在焦点上；如果轴有角度变化，则光线会在焦平面上的PSD光靶上得到两个方向的坐标值，从而与焦距比较得出角度值。
¾ 测量角度过程中不怕断光, 可用于导轨的安装调试
¾ 不受滚动角的影响，调整光路容易