进口激光干涉仪选择API XD测量方法

主要特性：

¾一次安装能测量6项精度指标包括线性定位误差、 XX及YY两个方向直线度、偏摆角、俯仰角、滚动角
¾ 把反射镜换成五棱镜既可测量两轴间垂直度
¾ 两点调光线. 无需三脚架. 测量调整简单快速
¾ 传统激光干涉仪测量20项精度指标(三轴)，约需3天的时间； API干涉仪只约需半天!
¾ 测量直线度/小角度/垂直度/转台时, 不怕断光, 可当自准直仪用, 用于机床装配调试
 

先进的结构设计
API公司采用了稳定钢球与绝热层的双重定位设计（如下图），将干涉镜用高绝热层与激光器主机隔开，从而避免了干涉镜受热变形，用稳定钢珠将干涉镜前端的干涉区与下端底盘定位相连，从而使激光管及电路板发热而引起的热膨胀方向沿稳定钢珠中线向后，使得干涉镜不受影响，保证了测量准确性。

API XD干涉仪线性定位误差的测量方法:
¾ 一次安装也可同时测量其它五个参数;
¾ 可利用电脑中的直线度实时显示,
数字化去除余弦差，测量准确;
¾ 两点调光，对光迅速

直线度测量— API XD的方法

应用先进的PSD技术：光电位置敏感检测器。它可将光敏面上的光点位置转化为电信号)

¾ 不怕断光，可用于导轨的安装调试(类似于自准直仪)
¾ 对直线度进行1:1的测量
¾ 可一次性安装, 与线性误差一起测量, 方便, 快速

垂直度测量— API XD的方法

¾ API XD激光干涉仪是通过PSD技术1:1进行直线度测量的，所以API干涉仪测两轴垂直度时只需一个五角棱镜既可，无需其他镜组. 装/调非常方便快速
¾ 在测两轴的垂直度的同时，两轴各自的线性定位误差、直线度，偏摆角、俯仰角都可一次测出，大大节省了测量所占用机床的时间，也可避免人为差错。

偏摆角/俯仰角测量 — API XD的方法

¾ 先进的PSD技术来测量小角度: 当入射光经分光镜射到凸透镜上后，如果轴无角度变化，则光线经透镜聚在焦点上；如果轴有角度变化，则光线会在焦平面上的PSD光靶上得到两个方向的坐标值，从而与焦距比较得出角度值。
¾ 测量角度过程中不怕断光, 可用于导轨的安装调试
¾ 不受滚动角的影响，调整光路容易、:
 

API XD 检测导轨平行度(示意)：