VerifireHDX新型干涉仪高精度光学元件检测 ZYGO新型VerifireHDX干涉仪是为高精度的光学元件和系统设计和制造的,可以获得元件表面的中频特征信息。系统包含现有VerifireHD的所有功能-比如QPSI和长寿命稳频的激光器,并增加了重要的增强功能
查看详细介绍美国ZYGODynaFiz干涉仪技术资料 DynaFiz™干涉仪的低噪声,高分辨率相机和光学放大能力能够清晰地观察被测样品表面的中间空间频率特征。DynaFiz™干涉仪具有独特的实时数据获取能力也给光学系统检测提供了便利。
查看详细介绍ZYGO高精度镭射干涉仪VerifireXPZ Verifire™XPZ运用准确相位调变技术对物件的细微面形进行精密测量,具有很高的精度和重复性。测量时对干涉腔长进行准确调制,同时640x480图元CCD进行资料撷取多个条纹图像,由MetroPro®软体分析计算。
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