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产品名称:
美国ZYGO ZEGAGE 3D光学表面轮廓仪
发布时间:
2020-07-20
产品品牌:
产品特点:
美国ZYGO ZEGAGE 3D光学表面轮廓仪
ZeGage™光学轮廓仪是用于3D形貌定量测试,和精密机械表面粗糙度检测的理想非接触式检测工具。它工业化的设计提供快速,准确的测量方案,并且外形紧凑、性价比高,能够放在生产车间工作,而不需要振动隔离和特殊的隔离装置。
  美国ZYGO ZEGAGE 3D光学表面轮廓仪的详细资料:

ZeGage™光学轮廓仪是用于3D形貌定量测试,和精密机械表面粗糙度检测的理想非接触式检测工具。它工业化的设计提供快速,准确的测量方案,并且外形紧凑、性价比高,能够放在生产车间工作,而不需要振动隔离和特殊的隔离装置。同时交互式的控制软件MxTM提供了简单而精细的图形图像来帮助你的加工处理。如需获取更多的信息,了解Zegage系统的能力、功能和价值请继续往下看。

 

 

3D光学表面轮廓仪 ZEGAGE

图为:3D光学表面轮廓仪 ZEGAGE 

关键特点

      • 抗震性能,适合于生产车间的计量检测和过程控制。
      • 所有参数遵照ISO 25178国际标准,保证计量结果的可性度。
      • 非接触式计量技术不会引起任何待测件的损伤。
      • 计算机控制的4位物镜转台。
      • 基于区域的测量,对待测件如何放置不敏感。

      • 测量无需任何耗材。

很强的性能
       • 结合抗震的非接触式的光学测量技术,无需振动隔离平台或者隔离装置。
       • 纳米级的表面定量计量精度提供了出色的计量能力。
       • 关联的2D和3D标准,符合ISO 25178面形粗糙度参数标准。
       • 百万像素的高分辨率图形传感器可以在几秒时间内进行快速面测量,并给出良好的表面细节成像。
       • 集成的自动聚焦和聚焦辅助功能使操作非常简单并且减少了由于操作误差。
       • 可选配机动样品台,使高精度检测的自动测量和大面积拼接成为可能。
多功能性
       • 测量各种材料的面形,提供个中参数,包括表面结构,面形和台阶高度等等的2D和3D 图形。
       • 可选择放大倍率和视场为系统提供更多选择。
       • Mx软件提供全面的用于表面数据图像处理、分析和报告的工具。
       • 配备的T型槽样品台使测量操作简单、可以重复的定位。
生产力和价值
       • 与同类产品相比较(包括探针式接触式轮廓仪)具有高性价比,及高测量性能。
       • 紧凑的机型,及具有**抗震技术SureScan(TM)技术,使Zegage可以整合在工厂里的任何地方。
       • 非接触式的测量系统,没有耗材,不用担心使用成本。
       • 操作简便,只需简单培训即可上手,也降低了维护成本。

       • 大功率、长寿命的LED光源使设备可以长期无障碍运行。

 

性能参数
纵向扫描范围150um,拓展扫描模式可到20mm
纵向分辨率<0.1nm
横向分辨率0.34um(100X)
 扫描速度≤0.34um/sec,与所选的CCD和扫描模式有关
RMS重复性<0.01nm
台阶测量准确度≤0.8%      重复性≤0.1%@1ɕ

 

 

产品相关关键字: 美国ZYGO ZEGAGE 3D光学表面轮廓仪 光学表面轮廓仪
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