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产品名称:
美国ZYGO DynaFiz干涉仪技术资料
发布时间:
2020-12-16
产品品牌:
产品特点:
美国ZYGO DynaFiz干涉仪技术资料
DynaFiz™ 干涉仪的低噪声,高分辨率相机和光学放大能力能够清晰地观察被测样品表面的中间空间频率特征。DynaFiz™ 干涉仪具有独特的实时数据获取能力也给光学系统检测提供了便利。
  美国ZYGO DynaFiz干涉仪技术资料的详细资料:

仪器介绍:

新型的ZYGO DynaFiz™ 激光干涉仪是特别设计为在有空气湍流和极*振动的环境中进行准确的光学计量的优化的光学仪器。DynaFiz™ 光学系统的长寿命,高功率氦氖激光源具有高的光效率,使得相机的高速快门能够“凝固”振动。这种动态能力提供了在恶劣的环境中,传统的时间相移技术不可能实现的可靠的测量。

      DynaFiz™ 干涉仪的低噪声,高分辨率相机和光学放大能力能够清晰地观察被测样品表面的中间空间频率特征。DynaFiz™ 干涉仪具有独特的实时数据获取能力也给光学系统检测提供了便利。 LivePhase™ 获取能力提供了实时Zernike反馈为光学系统的光路对准进行追踪。这是一个电影形式,把一系列动态图像连接成电影提供光学系统随时间变化的过程。采用具有独特性能和**的多功能的ZYGO DynaFiz™ 干涉仪将使你的计量得到很大的受益。只有从ZYGO你才能得到值得信赖的测量可靠性。

美国ZYGO DynaFiz干涉仪技术资料

MX软件--功能强大,操作简单

 •  集成大量常用测量程序模块
•  多个样品的同时分析
•  球面曲率半径的测量
•  角锥和棱镜测量
•  双球面和三平板的测量
•  相对角度和楔板楔角的测量
•  材料均匀性的测量
•  傅立叶变换移相干涉测量(MST型)
•  动态设备如MEMS的测量
•  薄膜上下层形貌和厚度的测量
•  金属零件的测量

 

 

简单的定制过程,用户可调

      •  设定数控采集和数据处理过程中的各种参数
      •  选择需要显示的图像曲线和数据结果
      •  几百种符合工业标准的数据可供选择
      •  自定义屏幕上各种窗口的编排
      •  保存和输出每个样品参数测量.分析设定数据结果

适用于工业化生产的软件

      •  质量控制--自动显示“合格/不合格”
      •  编程功能--仪器自动按用户所编程序模式运行.

                               产生相应的信息
      •  根据用户定义的计算公式,产生相应的结果
      •  实时屏现SPC
      •  自动数据保存和统计
      •  应用程序"锁定"功能

 

关键性能:

      •  可以在空气扰动和**震动的环境中进行动态测量;
      •  更新的抗振模式QPSI快速机械移相法;
      •  优化的光学系统清晰呈现被测面的中频信息;
      •  LivePhase技术能够进行实时的Zernike分析;
      •  影片模式捕获、反映波阵面随时间的变化情况;
      •  CARS功能,可以消除灰尘脏点引起的衍射环,及其对测试结果的影响
      •  DynaFiz校正算法,适用于高阶和低阶相差;

系统参数:

测量功能精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前
测量技术DynaPhase动态测量技术;可选模式:机械相移测量(PSI)
校准系统 
动态模式DyanaPhase 对准向导校准
移相模式快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)
对准视场范围FOV±3°
测量光束直径4″(102mm)
光学中心线4.25″(108mm)
激光光源大功率稳定氦-氖激光,IIIa 级
波长 633 nm
频率稳定度< 0.0001 nm
相干长度 >100m
成像分辨率1200 x 1200 像素
帧速50Hz(600 x 600 像素:82Hz)
数据模式10位
放大电控塔台切换,1X,1.7X,3X
偏振接近圆偏振(1.2:1或者更好)
光曈调焦范围±2m
无线遥控聚焦,放大,校准控制;遥控范围:15m
计算机和软件高性能DELL PC , Windows7 , 64 位, ZYGO **MetroproTM X软件
安装构造水平卧式或垂直立式
附件参考ZYGO 激光干涉仪附件向导文件,OMP-0463
尺寸(长x宽x高)60 x 31 x 34 cm (23.7 x 12.1 x 13.4 in.);带移相器长度增加9cm(3.6in.)
重量≤80lb(36 Kg);带移相器增加10lb(5kg)
电源100-240VAC,50/60Hz
保修期2年

 

 

产品相关关键字: ZYGO DynaFiz ZYGO干涉仪 DynaFiz干涉仪
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